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太阳能光伏行业超纯水

发布时间:2023-11-13 浏览次数:196

        太阳能行业用超纯水设备、蓄电池生产用超纯水、锂电池生产用超纯水 、太阳能电池生产用超纯水、蓄电池格板用超纯水等,其对纯水水质要求十分严格, 多晶硅超纯水设备主要用在多晶硅片清洗中,多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染电括光刻胶、有机溶剂残留物、合成和人接器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电,颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。


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其光伏电池超纯水设备有着以下工艺:

      1、源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→UF系统→一级反渗透→PH调节→级间水箱→二级反渗透→中间水箱→中间水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→EDI装置→氮封水箱→增压水泵→抛光混床→循环增压泵→用水对象(≥18MΩ.CM)

 

      2、源水→源水增压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→UF系统→一级反渗透→PH调节→级间水箱→二级反渗透→中间水箱→中间水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→EDI装置→氮封水箱→供水泵→用水对象(≥17MΩ.CM)

 

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光伏行业超纯水设备详细介绍

      1、预处理系统(原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂系统)

      2、反渗透除盐系统(保安过滤器、高压泵RO、反渗透)

      3、EDI系统(EDI的作用就是去除电解质(包括弱电解质)的过程,将水的电阻率从0.05~1.0MΩ.cm提高到5~16MΩ.cm。)

      4、抛光混床(终端精制混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序,终端精制混床树脂必须是最高的品质,绝不能释放出任何物质,进而污染到不能间断的超纯水供水系统)

      5、脱气膜(是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的独特中空纤维不透过液体,只透过气体,适合用于液体的脱气、供气。)

      6、TOC系统(超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解至关重要,采用UV-180nm单波长紫外技术,并通过高剂量的UV-185紫外关催化,在水中产生OH翔基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以达到降低水中TOC的含量。)

 

超纯水水质标准

  超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM D5127-2007、符合我国电子级水GB/T 11446.1-1997标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、0.5MΩ.cm)。

 



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